Крионасосы изготавливаются по принципу конденсации газа, криогенной адсорбции, криогенного улавливания или отсоса для получения вакуума.
1. В зависимости от рабочего давления насоса его можно разделить на крионасос для непрерывного потока, крионасос для молекулярного потока, обычно конденсатный насос плюс ступень адсорбции или ступень криогенного улавливания.
2. По методу охлаждения их можно разделить на крионасосы для резервуаров, испарительные крионасосы и крионасосы для охлаждения. Среди них крионасос резервуара для хранения и испарительный крионасос используют жидкий хладагент для охлаждения, поверхность охлаждающего экрана обычно использует жидкий азот, а криогенная поверхность обычно использует жидкий гелий или газообразный гелий для охлаждения. Из-за воспламеняемости, взрывоопасности и высокой стоимости жидкого водорода он все еще редко используется, несмотря на более высокую энтальпию испарения, чем жидкий гелий.
Холодильники с криогенным насосом обычно используются компанией Gifford. Тип Мак-Магона (называемый холодильником GM) и тип Стирлинга (называемый холодильником St). Для холодильных крионасосов с большой скоростью откачки можно использовать холодильник с температурным классом жидкого гелия, а клапан JT можно настроить для образования охлаждающего устройства с циркуляцией жидкости, а иногда жидкий азот в резервуаре для хранения жидкости или машину для сжижения азота. охлаждать перегородку и поверхность экрана.
Основные характеристики крионасоса
①Выше, чем скорость откачки, лучше, чем у всех других типов насосов.
② Нет ограничений по форме, он может быть погружен в вакуумную камеру или закреплен на стенке вакуумной камеры с помощью фланца.
③Он может обеспечить абсолютно чистый вакуум без загрязнения вакуумной системы.
④Можно получить степень вакуума при крайне низком давлении, например, ниже 10-12Па. Кроме того, работа крионасоса надежна, а когда скорость откачки относительно велика, эксплуатационные расходы на его инвестиции ниже, чем у традиционного вакуумного насоса, и его легко автоматизировать.