Крионасосы также широко используются в современной жизни. Многие люди, возможно, не слышали о крионасосах. Крионасосы представляют собой тип вакуумного насоса, который использует низкотемпературный поверхностный конденсационный газ. Преимущество заключается в том, что мощность перекачки является самой большой. Сегодня давайте посмотрим на криогенные насосы Как работает насос.
Принцип работы крионасоса заключается в использовании газа для физического адсорбции на сверхнизкой температуре поверхности для достижения эффекта истощения. Это эффективный и быстрый метод получения чистого вакуума.
Крионасос может достигать чрезвычайно высокого вакуума (10-11 Па) и имеет преимущества быстрой скорости выхлопа, отсутствия масла и неограниченного направления установки.
На первой ступени холодной стадии крионасоса устанавливаются защитная крышка и перегородка, а температура поддерживается на уровне 80К. Вторичную стадию охлаждения поддерживали на уровне 15К, а на нее устанавливали криогенную крышку и адсорбент активированного угля.
Водяной пар затвердевает на экране 80K и перегородке 80K; азот, кислород и аргон затвердевают на криогенном покрытии 15K; водород, гелий и неон адсорбируются на адсорбенте внутри криогенной крышки 15K. Криопамп может выкачивать все газы, но если количество адсорбированного газа слишком велико, скорость выхлопа будет снижена. В этом случае необходимо нагреть крионасос, выпустить адсорбированный газ и использовать его повторно.
Особенности крионасоса
Крионасос представляет собой вакуумный насос, который использует низкотемпературную поверхность для конденсации газа, также известный как конденсатный насос. Крионасос может получить чистый вакуум с самой высокой скоростью накачки и самым низким конечным давлением и широко используется в исследованиях и производстве полупроводников и интегральных схем, а также в исследованиях молекулярных пучков, оборудовании для вакуумного покрытия, вакуумных приборах для анализа поверхности, ионных имплантатах и устройствах космического моделирования и т. Д. Аспект.
Крионасос - это вакуумный насос, который использует эффект конденсации очень низкотемпературной охлаждающей поверхности (≤77K) для удаления газа из системы. С 1960-х годов криогенная перекачка все шире используется при приобретении и применении вакуума.
Крионасос - это чистый вакуумный насос. Поскольку криогенная среда является только хладагентом, который охлаждает всасывающую поверхность насоса и хранится или циркулирует в закрытом контейнере, он не имеет никакого контакта с вакуумным пространством. Эта особенность имеет решающее значение для некоторых вакуумных систем, которые требуют чистых, безмасляных вакуумных систем.
Крионасосы могут достигать очень низкого парциального давления и очень высоких скоростей перекачки для большинства газов. Когда крионасос работает в жидкой гелиевой среде, он также имеет преимущества большой фактической насосной способности и неселективной перекачки (за исключением гелия).
Крионасосы играют жизненно важную роль в исследованиях и производстве полупроводников и интегральных схем, исследованиях молекулярных пучков и других областях. Это чистый вакуумный насос. Все вышесказанное касается принципа работы крионасосов.