Крионасос — это вакуумный насос, который использует низкотемпературную поверхность для конденсации газа, также известный как конденсатный насос. Крионасос может создавать чистый вакуум с самой высокой скоростью откачки и самым низким предельным давлением и широко используется в исследованиях и производстве полупроводников и интегральных схем, а также в исследованиях молекулярных пучков, в оборудовании для вакуумного нанесения покрытий, приборах для вакуумного анализа поверхности, ионных имплантеры и космическое моделирование. устройства и т. д.
Принцип откачки Крионасос оснащен охлаждающей пластиной, охлаждаемой до очень низкой температуры жидким гелием или холодильником. Он конденсирует газ и удерживает давление паров конденсата ниже предельного давления насоса, чтобы достичь эффекта перекачки. Основными функциями низкотемпературной перекачки являются низкотемпературная конденсация, низкотемпературная адсорбция и низкотемпературное улавливание.
крионасос
① Низкотемпературная конденсация: молекулы газа конденсируются на поверхности охлаждающей пластины или на слое конденсированного газа, а равновесное давление в основном равно давлению паров конденсата. При перекачке водорода температура холодной пластины ниже.
②Низкотемпературная адсорбция: молекулы газа адсорбируются на поверхности адсорбента, нанесенного на охлаждающую пластину толщиной в один молекулярный слой. Равновесное давление для адсорбции намного ниже, чем давление пара при той же температуре.
③Криогенное улавливание: молекулы газа, которые не могут быть сконденсированы при температуре экстракции, закапываются и поглощаются растущим слоем конденсируемого газа.